关键词中包括 magnetron sputtering 的文章

1 氮气流量对高功率脉冲磁控溅射 CrNx/CrC复合镀层耐蚀性能的影响 向君1，曹悦悦2，梅屹峰1 ，王卓然1 2022年第07期 [573－577][摘要](1559)[pdf 5557KB](784)

2 基底偏压对Zr-B-O-N薄膜结构及性能的影响 孟瑜1，宋忠孝2，王小艳1，钱旦2，刘明霞1，李晓华3 2022年第07期 [584－588][摘要](1315)[pdf 9561KB](700)

3 三种方法制备铜基碳纳米管复合膜及其除砷性能对比 栾红艳，黄海鸥 2018年第02期 [11－15][摘要](3846)[pdf 3395KB](3031)